附件 3 浙江省重点行业大气污染防治绩效分级技术指南 电子制造（试行） 浙江省生态环境厅 2023 年 7 月 目 前 次 言................................................................................................................................II 1 范围..................................................................................................................................1 2 规范性引用文件..................................................................................................................1 3 术语和定义........................................................................................................................1 4 生产工艺及原辅材料...........................................................................................................3 5 主要污染物产排环节及治理措施...........................................................................................6 6 绩效分级指标.....................................................................................................................6 7 减排措施要求...................................................................................................................10 8 核查方法.........................................................................................................................10 I 前 言 为贯彻落实精准治污、科学治污、依法治污的要求，进一步指导各地做好大气污染防治绩效评级 工作，促进全省重点行业环境管理水平提质增效，参照生态环境部《重污染天气重点行业应急减排措 施制定技术指南（2020年修订版）》要求，制订本技术指南。 本文件明确了电子制造工业的绩效分级指标、减排措施和和核查方法，涵盖企业生产工艺水平、 污染治理技术、无组织排放、排放限值、环境管理水平、监测监控水平、运输方式等要求。 本文件需按照生态环境部《重污染天气重点行业绩效分级实施细则》（试行）要求执行。 本文件起草单位：杭州市生态环境保护科学研究院、杭州环研科技有限公司、浙江省生态环境科 学设计研究院。 II 浙江省重点行业大气污染防治绩效分级技术指南 电子制造（试行） 1　范围 本文件适用于国民经济行业分类中规定的电子器件（ C 397）、电子元件及电子专用材料制造 （C 398）中涉及有机溶剂、涂料、油墨、稀释剂、清洗剂、固化剂、胶粘剂等使用的工业企业。 2　规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适 用于本文件。 GB/T 4754 国民经济行业分类 GB/T 8017 石油产品蒸气压的测定 雷德法 GB 33372 胶粘剂挥发性有机化合物限量 GB 37822 挥发性有机物无组织排放标准 GB 38507 油墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值 GB 38508 清洗剂挥发性有机化合物含量限值 HJ1031 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业 DB33/T 330007 设备泄漏挥发性有机物排放控制技术规范 《重污染天气重点行业应急减排措施制定技术指南（2020年修订版）》 《重污染天气重点行业移动源应急管理技术指南》 《重污染天气重点行业绩效分级实施细则》（试行） 3　术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 密闭 指物料不与外界环境空气接触，或通过密封材料、密封设备与环境空气隔离的状态或作业方式。 密闭储存 指将物料储存于与环境空气隔离的建（构）筑物、设施、器具内的作业方式。 1 密闭输送 指物料输送过程与环境空气隔离的作业方式。 密闭空间 指利用完整的围护结构将污染物质、作业场所等与周围空间阻隔所形成的封闭区域或封闭式建筑 物。该封闭区域或封闭式建筑物除人员、车辆、设备、物料进出时，以及依法设立的排气筒、通风口 外，门窗及其他开口（孔）部位应随时保持关闭状态。 封闭 指利用完整的围护结构将物料、作业场所等与周围空间阻隔的状态或作业方式，设置的门窗、盖 板、检修口等配套设施在非必要时应随时保持关闭状态。 封闭车间 指具有完整围墙（围挡）及屋顶结构的建筑物，建筑物的门窗在非必要时应随时保持关闭状态。 挥发性有机物（VOCs） 指参与大气光化学反应的或者根据有关规定确定的有机化合物。在表征VOCs总体排放情况时,根 据行业特征和环境管理要求，可采用总挥发性有机物（TVOC）、非甲烷总烃（NMHC）作为污染物 控制项目。 非甲烷总烃（NMHC） 指采用规定的监测方法氢火焰离子化检测器有响应的除甲烷外的气态有机化合物的总和以碳的质 量浓度计。 无组织排放 指大气污染物不经过排气筒的无规则排放，包括开放式作业场所逸散，以及通过缝隙、通风口、 敞开门窗和类似开口（孔）的排放等。 VOCs 物料 指VOCs质量占比大于等于10%的物料以及有机聚合物材料。本指南中的含VOCs原辅材料、含 VOCs产品、含VOCs废料（渣、液）等术语的含义与VOCs物料相同。 挥发性有机液体 指任何能向大气释放VOCs的符合下列条件之一的有机液体： 1.真实蒸气压大于等于0.3kPa的单一组分有机液体； 2.混合物中，真实蒸气压大于等于0.3kPa的组分总质量占比大于等于20%的有机液体。 2 真实蒸气压 指有机液体工作（储存）温度下的饱和蒸气压（绝对压力），或者有机混合物液体气化率为零时 的蒸气压，又称泡点蒸气压，可根据GB/T 8017等相应测定方法换算得到注:在常温下工作（储存）的 有机液体，其工作（储存）温度按常年的月平均气温最大值计算。 气相平衡系统 在装载设施与储罐之间或储罐与储罐之间设置的气体连通与平衡系统。 低氮燃烧技术 指采用低氮燃烧器、空气或燃料分级燃烧、烟气再循环等方式，减少NOx的产生。 减排基数核算 以环评批复产能、排污许可载明产能、前一年正常生产实际产量三者日均值的最小值为基准核算。 1　生产工艺及原辅材料 2　生产工艺 2.1.1　主要生产工艺 电子行业主要有配料、喷涂、涂覆、蚀刻、注塑、复合、印刷、注液、上胶、干燥/固化、清洗、 压制、封口等环节的生产工序。 2.1.2　典型生产工艺流程 典型生产工艺流程和产排污环节见下图。 3 图1　典型电子器件生产工艺流程和产排污环节 4 图2　典型电子专用材料生产工艺流程和产排污环节 2.1.3　公用单元 主要包括锅炉、废水处理系统、辅助系统。 5 原辅材料 1.1.1　主要原辅材料 覆铜板、铜箔、塑料粒子、涂料、刻蚀液、电解液、油墨、盐酸、稀释剂、清洗剂、胶粘剂、密 封胶、沥青、封口剂等。 1.1.2　主要能源 电、天然气等。 2　主要污染物产排环节及治理措施 3　主要产排污环节 3.1.1　VOCs 主要来自配料、喷涂、涂覆、复合、印刷、上胶、烘干 /干燥/固化、清洗工序，主要来源于涂料、 油墨、稀释剂、清洗剂、胶粘剂等含 VOCs原辅材料的使用及挥发逸散。此外，注塑环节也有少量 VOCs产生。 3.1.2　酸雾 主要来自蚀刻、清洗环节盐酸、硫酸等的使用。 3.1.3　颗粒物（PM） 主要来自配料、注塑、锅炉燃烧烟气排放。 3.1.4　NOx、SO2 主要来自锅炉燃烧烟气排放。 主要治理措施 电子制造企业主要废气排放节点及对应主要治理措施见表1。 表1　主要治理措施 序号 主要排污节点 主要污染物 主要治理措施 1 配料 PM、VOCs 布袋除尘、冷凝+回收法、燃烧法 2 喷涂 VOCs 喷淋吸附、浓缩+燃烧、燃烧技术 3 涂覆、复合、印刷、清洗、上胶 VOCs 吸附、浓缩+燃烧、燃烧技术 4 注塑 PM、VOCs 过滤除尘、吸附法、浓缩+燃烧 5 烘干/干燥/固化 VOCs 冷凝回收、燃烧技术 6 清洗 VOCs、HCL、氟化物 喷淋吸收+吸附、吸收 7 蚀刻、电蚀 NOx、HCl、氟化物、硫酸雾等 碱液喷淋、洗涤吸收 1　绩效分级指标 电子制造工业绩效分级指标见表2。 6 表2　电子制造绩效分级指标 差异化指标 A 级企业 能源 B 级企业 全部采用天然气、电 1.丝网印刷工艺使用水性油墨（VOCs≤30%）、能量固化油墨 （VOCs≤5%）的比例达 60%及以上； 原辅材料 2. 清 洗 工 序 使 用 符 合 《 清 洗 剂 挥 发 性 有 机 化 合 物 含 量 限 值 》 （GB38508-2020）规定的水基或半水基清洗剂含量（ <100g/L） 产品达 30%以上 1.对储存物料的真实蒸气压≥2.8kPa 且储罐容积≥20m3 的有机液体 储罐，应符合以下规定： a) 挥发性有机液 体储罐 b) 采用浮顶罐；对于内浮顶罐，浮顶与罐壁之间应采用浸 液式密封、机械式鞋形密封等高效密封方式；对于外浮 顶罐，浮顶与罐壁之间应采用双重密封，且一次密封应 采用浸液式密封、机械式鞋形密封等高效密封方式； 泄漏检测与修 复 未达到 A、B 级要求 丝网印刷工艺使用水性油墨（VOCs≤30%）、能量固化油墨 （VOCs≤5%）的比例达 30%及以上 未达到 A、B 级要求 1.对储存物料的真实蒸气压≥2.8k